半導体・FPD業界の環境対策最前線製造現場と製品開発の両面で進行各社の製造現場における対策事例

摘要

半導体・FPD製造現場では，地球環境負荷を低減 するために，省エネ化やCO_2削減，リサイクル，地 域環境保全といった取り組みが求められている。そ の一方で，地震や落雷といった自然災害から製造ラ インを守る設備施策も不可欠となっている。