これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎知識（その2）

摘要

前述の目視レベルの金属異物は例えば装置からの発塵であって浮遊はしていない。 また、限定された清浄度レベル以下に管理された浮遊粒子なので全くゴミ（浮遊粒子）がないとは言っていない。 その意味から、製品に応じた清浄度の維持·管理が必要であることが理解できる。 また、クリーンルーム内は発生した種々の異物や浮遊粒子をクリーンルーム外へ排出させる機能はあるが、発生源の対策は別問題であると言う認識をもつ必要がある。 今回は、これらの考え方をまとめてみる。