過熱水蒸気を用いたガラス基板端面洗浄技術：過熱水蒸気ツールの異物除去性能評価と他の洗浄ツールとの比較

摘要

ガラス切断後に端面に付着した異物を除去する目的で過熱水蒸気を利用した洗浄ツールを開発した。 過熱水蒸気処理は従来の二流体ノズルによる処理と比較して性能が2倍高く、処理時間1秒以内で研磨後の基板の端面異物量を50％以上減少できることが分かった。