クリーンルーム空調の省エネルギー技術：高効率電動冷凍機によるCO{sub}2削減効果と蓄熱·蓄電技術－省エネ用機器

摘要

2005年2月16日に地球温暖化防止京都議定書(COP3)が発効しCO{sub}2削減は第1約束期間（2008～2012年）の数量目標達成に向けて待ったなしの状態となって来ている。 その実現には、我国全体としての取組が必要である。 そこで本文ではクリーンルーム空調設備のうちでも最もCO{sub}2発生比率の大きい、冷凍機のCO{sub}2発生量削減、および最近設置事例が増えている温度成層型の大型水蓄熱槽の効果、最後にNAS電池を用いた蓄電技術について紹介する。 半導体工場クリーンルームは年間24時間連続稼動で熱負荷·取入外気量が大きいという特長を持つ。 単位面積あたりでのエネルギ消費量は、事務所ビルの約10倍という高エネルギ消費型であり、その為CO{sub}2発生量も多い。 クリーンルーム面積4,400m{sup}2のモデル半導体工場におけるCO{sub}2発生量比率を図1及び図2に示す。 半導体工場におけるCO{sub}2発生量は、生産装置と付帯設備とほぼ同等の割合で発生している。 付帯設備のなかでは冷凍機等の冷熱源機器からの発生量が最も多く、付帯設備全体の約35％を占め、工場全体では約17％にも相当する。