プラズマプロセス技術における最新動向：オゾンを酸化剤としたVOC分解技術－温和な条件で作動する触媒酸化技術の利用

摘要

平成16年度に改正された大気汚染防止法では、6業種（塗装、接着、乾燥、印刷、洗浄、化学製品製造）の大規模発生源からの揮発性有機化合物(VOC)排出量に規制値を設けるとともに、中小規模の発生源に対しては自主的取り組みにより排出量を削減するよう求めている（平成18年4月1日施行）。 従来のVOC処理技術としては、一般的には燃焼法（蓄熱燃焼法、触媒燃焼法）や吸着法が用いられ、大規模な発生源からの処理方法としては既に対策技術が進hでいる事業所も多い。 しかしながら、これらの技術は比較的に高濃度のVOC処理に有効であり、低濃度VOCの処理には不利である。 また、中小規模の発生源においては、上述した燃焼技術では装置が大掛かりかつ高額であるためにVOC処理装置の普及が進みにくいという問題点が指摘されている。 このため、小規模発生源からのVOC処理には、低濃度のVOC処理にも有効でありコンパクトかつ安価な技術の開発が求められている。 ここでは低温プラズマを利用した技術の一つとしてオゾン酸化法について紹介する。