純水を取り巻く技術と現状－超純水用分離膜：最新の超純水製造用分離膜について

摘要

半導体産業は、ムーアの法則に従ってデバイスの高集積化が実施されており、半導体の製造上不可欠な超純水にもより高純度なレベルの要求が続いている。 分離膜·フィルターは、超純水を製造する上で基幹要素技術であり、各種膜モジュールが使われている。 現在の超純水システムで多く用いられているスパイラル型逆浸透(RO)膜エレメントは、高透過流速化による低圧化、TOC除去性能の向上、各種構成部材からの溶出物の低減化によるクリーン化等の要求に対し、合成高分子系複合膜の開発、及び超純水専用膜エレメントの開発により応えてきた。また、ファイナルフィルターとして使用されているキヤピラリー型限外ろ過(UF)膜モジュールは、クリーン度をあげるために内圧型から外圧型へと変化し、超純水の高純度化に貢献してきた。 本論では、最新の超純水製造用のROおよびUF分離膜について紹介し、今後の課題について述べる。