純水を取り巻く技術と現状－最近の洗浄技術動向：ITRSの要求を実現するための枚葉洗浄技術

摘要

今回は洗浄技術の動向についてまとめさせていただいた。国内においても300mmの工場の増産が続いていており、テクノロジーも確実に進hでいる。 純水の技術そのものはほぼ完成されてきたと考えるが、その純水をいかに制御し、洗浄に使用するかについては研究開発が必要である。 当面はバッチ装置と枚葉装置は共存するが、枚葉装置は確実に増加していく。 微細化、高アスペクト化、大口径化により、洗浄、乾燥に伴う問題は顕在化していくと予想される。 重要なのは、いかに洗浄のメカニズムを理解し、制御することである。性能だけではなく、コスト、環境といったこともテーマとなる。 一般に枚葉洗浄装置は環境負荷がバッチのウエットベンチと比較して低い。 単純に純水の使用量だけを考えても、ウエーバ一枚あたりの使用量は数分の一となる。 これらのバランスがとれた装置とプロセスを提供することにより業界の発展に寄与していきたいと考えている。