エバラ排ガス処理装置 - 半導体、液晶産業を安全と環境面からサポートする信頼のエバラ排ガス処理装置

摘要

当社は、PFCsガス（地球温暖化ガス）処理の重要性及びニーズの高まりを捉え、1999年より高効率除去及び低ランニングコストタイプの燃焼式排ガス処理装置（GDC250シリーズ）を販売してきた。このほど、従来の基本的コンセプトを守りつつ、より低CoOとしてまとめたGDCⅡシリーズを完成させ、販売を開始した。 以下にその概要を説明する。