エバラ排ガス処理装置：半導体、液晶産業を安全と環境面からサポートする信頼のエバラ排ガス処理装置

摘要

当社は、ドライ真空ポンプ、ターボ分子ポンプ、排ガス処理装置と、排気系全般にわたる製品の提供をしている（図1）。 排気系各製品の最適機種の提案はもとより、特に排ガス処理装置の選定に関しては、あらかじめ副生ガスを含めた有害ガス成分を全て把握し、性能面、安全面、コスト面等あらゆる角度から検討し、最適機種を提案している。 ラインアップとしては、乾式、湿式、加熱酸化分解式、燃焼式、触媒式（開発中）をそろえ、さまざまなニーズに応えている（表1、図2）。