わが社の配線工程用洗浄技術·装置 - 大日本スクリーン（DNS）の配線工程洗浄の提案

摘要

2002年版ITRSによれば、来年はDRAMハーフピッチで90 nmの量産に入り、チップメーカーの現場では更なる品質向上に向けて更なる改善を進めている。 その一方で、いずれ訪れる65 nm世代や45 nm世代に向け、チップメーカーの開発チームや装置メーカー、材料メーカーも開発やリサーチを始めている。 配線工程においても世代毎の微細化に対応して材料と構造を変えている。それに応じて、製造プロセスも変化して、洗浄工程もその例外ではなく、世代ごとに訪れる洗浄にも課題がより多く積まれる。 図1は配線材料の移り変わりと洗浄の課題を簡単にまとめてみた。