高機能フッ素系エラストマーの最新動向：半導体分野におけるパーフロロエラストマーの現状と将来

摘要

フッ素系エラストマーは大きくフッ素ゴム(Fluoroeiastomer)とパーフロロエラストマー(Perfluoroelastomer)に分けられる。 エラストマーは「力を加えると容易に変形しカを取り去ると直ぐに元の形に戻る性質、すなわち弾性をもつ材料」と定義される。 エラストマーとゴムはほぼ同義語と考えて良いが、フッ素エラストマーあるいはその逆のパーフロロゴムという言い方はほとhどされない。 フッ素ゴムは年々性能も上がり価格面でもパーフロロエラストマーまではいかないが、やや高めの製品が出て来ており、パーフロロエラストマーはさらに厳しい環境や寿命の長さが要求される分野で伸びている。 本稿では、フッ素ゴム（エラストマー）の構造そして汎用エラストマーとの違いについて説明し更に近年耐熱、耐薬品、清浄（クリーン）特性が必要な環境である半導体分野における使用が増えているパーフロロエラストマーを中心に現在の動向と将来の市場展開について解説する。