光照射式ドライ洗浄：エキシマランプによる精密ドライ洗浄

摘要

近年、産業分野において精密かつ高付加価値が求められる中、より高度な洗浄技術が求められている。洗浄の方法として、従来薬液を用いたウエット洗浄や低圧水銀ランプを用いたUV／O_3 ドライ洗浄、大気圧プラズマ処理などが用いられている。エキシマランプによる光を用いたドライ洗浄技術は、真空紫外光による光化学反応を利用した洗浄方式であり、従来の方式と比較して多数の優位な特性を有している。本稿では、エキシマランプの基本原理から、洗浄技術を中心とした応用事例までを紹介する。