ドライプロセス·UVオゾン洗浄装置 - ナノテク製品の品質と歩留向上に寄与する精密洗浄改質技術

摘要

UVオゾン洗浄技術は、大気中で使えるドライプロセスで、使われる光エネルギーの値が選択的で一定の値に集中しているので、高い洗浄効果を示しながら、プラズマのように対象物に過剰エネルギーによるダメージを与えない。 1980年代初めに実用化が始まった技術が、この特長により21世紀のナノテク時代に至り評価が高まってきた。その一つが有機EL の累積膜や関連の積層板性能向上である。UVオゾン法はプラスチックスや金属に対しては、洗浄効果だけでなく化学的に接着力を向上させる効力もあるので、単なる洗浄技術を超えた応用展開が可能である。