TLP解析手法と先端デバイスESD保護回路設計

摘要

近年、通信市場における革新的変化はすさまじいものであり、特に携帯電話等に代表される携帯端末機器の急速な普及は特筆すべきものがある。 これら携帯端末機器において最も必要な特性は、高速動作及び低消費電力化である。 これらの要求性能に対応した先端半導体デバイスは、集積度を向上させ、サリサイド構造等を持ち、分離電源ブロック方式にて設計することが一般的である。 しかし、結果として静電気放電（Electro－Static Discharge：以下ESD）等による対外乱サージ耐性は低下せざるを得ない状況となっている。 従って、従来の信頼性、品質を維持するためには、静電気保護素子開発、保護回路設計技術が非常に重要となっている。 この状況を踏まえ、ESD保護回路設計精度向上のために近年、盛hにとり入れられているTLP （Transmission Line Pulse）解析手法とデバイス回路混合（Mixed-Mode）シミュレーション手法を用いた先端デバイスのESD保護回路設計を検討したので報告する。