オンラインモニタリングシステム：薬液中の金属不純物モニタリング

摘要

一方、オフラインでの金属の不純物測定に一般的に用いられている方法としては誘導結合プラズマ質量分析法(ICP-MS)がある。この手法は多くの元素を一斉に、かつ高感度に測定でき、薬液の不純物測定だけでなく、シリコンウェーハやその膜中の不純物測定など、多岐にわたって使用されている実績がある。しかしながら比較的高価かつ大型の分析装置であり、洗浄槽毎にICP-MSを設置することは現実的ではない。当社では、一台のICP-MSを使用して、複数の洗浄槽で使用される薬液中の金属不純物をオンライン測定するシステムを構築した。