これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎おさえておきたいクリーン化技術の注目点と考え方

摘要

クリーン化技術の基礎知識について9回にわたって示してきたが、今回が最後となる。 今まで寸足らずで書き残したことも書けなかったこともあったと思うが、そのなかで再度FOUP、静電気について述べ、新たにBCRを追記した。 これらは抑えておきたいクリーン化技術の注目点の一つであり、これらの考え方を示すことで「これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎知識」に対するまとめとしたい。