TSV故障検出回路の制御部改良および観測部における面積削減の検討

摘要

故障TSVで発生する遅延量は極めて小さく，故障検出が困難である．そこで，隣接TSVを考慮したTSV 故障検出回路が提案されている．しかし，従来の回路では各TSVにFFを追加し検査対象TSVの指定を行うため，TSVの増加に伴い回路面積の増大が問題となる．また，遅延検出回路として使用されるVDL（Vernier Delay Line）の分解能と回路面積の関係についての評価はされていなかった．本研究では，TSV故障検出回路の回路面積の削減のため，コア検査用として組み込まれているBSC（Boundary Scan Cell）を利用しての制御部の改良とVDL回路部内のゲート段数評価を行った．