マッシュルーム型零次共振器間のブロードサイド結合を用いたインターコネクト

摘要

デバイスの性能評価や、フィルタに用いられる非接触のインターコネクトに関する研究が行われている．本報告では、マッシュルーム型零次共振器間のブロードサイド結合を用いたインターコネクトについて検討している．零次共振器を用いると、インターコネクト部分が従来構造よりも小型化できる．まず，二つの共振器間のブロードサイド結合について，挿入損失の要因を検討した．その結果、損失要因は導体損、誘電体損及び平行平板モードにより地板端部に生じる定在波からの放射であることがわかった．また支配的な損失はビアでの損失と誘電体損であることがわかった．さらに基板幅、零次共振器間の距離及び共振器位置のアライメント誤差が伝送特性に与える影響を検討した．