机译:通过反应磁控膜喷涂的保护性氧化铝膜的高速率沉积
机译:通过反应磁控膜喷涂的保护性氧化铝膜的高速率沉积
机译:利用Sn-Ta金属烧结靶通过反应磁控溅射高速沉积Ta掺杂的SnO_2薄膜
机译:使用合金靶材通过反应磁控溅射高速沉积高质量的Sn掺杂In_2O_3薄膜
机译:高功率脉冲直流磁控溅射对二氧化锆透明膜的高反应性沉积
机译:氮化铬和氮化铬铝外延膜,用于通过AC反应磁控溅射法生长α-氧化铝。
机译:磁控溅射沉积可见光活性光催化钼酸铋薄膜
机译:反应磁控溅射在倾斜角度下高化学计量化合物的沉积