超音波振動援用研磨法によるマイクロ非球面金型の超精密研磨

摘要

本解説では、開発した4軸制御の超音波振動援用マイクロ非球面研磨装置·システム、直線振動モードと円振動モードによる微粒子超硬合金製金に対する単一加工痕の形状、非球面形状のガラスレンズ成形型の非球面研磨特性（形状精度，表面粗さ）について紹介する。