薄膜超音波センサの基本性能と応用例：工業応用に適した高温超音波センサの開発

摘要

ゾルゲル複合体による薄膜超音波センサはバッキング材·カプラントが不要なことから工業応用に適しているといえる。本稿では薄膜超音波センサの温度特性の比較と実用例である亜鉛めっき浴槽厚の測定結果について紹介する。