反射型弾性表面波素子を用いた計測法

摘要

弾性表面波（SAW）を励振するためのすだれ状電極（IDT）と反射器を圧電結晶上に構成すると、SAWは反射器で反射しIDTに戻る。この反射型SAW素子は、現在センサとして応用されている。現在、SAWの摂動を利用する場合と反射器にインピーダンス変化形センサを接続した場合の2通り報告されている。本稿では、基本原理を述べた後、後者の計測例について紹介する。