弾性表面波を用いた液体縦波音速の新しい計測法

摘要

弾性表面波(SAW)デバイスを用いた応用の一つに液滴搬送がある ．筆者らはこれまでにSAW による液滴搬送機能と電気化学センサを用いた計測機能を一枚の圧電結晶上に集積化したデジタル式マイクロ流体システムの提案を行った ．液体を所望の位置へ正確に搬送するためには，液滴の位置の把握が必要である．そこで，SAW デバイス上に液滴がある場合にバースト波でSAWを励振で観測される反射波と透過波に着目した液滴位置計測を行っている ．液滴位置計測を行う場合，液滴の縦波音速は既知として取り扱った．液滴の位置が既知とすると，縦波音速を求めることが可能となる． SAW を用いた液体の縦波音速測定はすでに行われている ．この場合，液体中に反射板を導入する必要がある．しかし，筆者らの提案手法は，SAW デバイス上に液滴を載せるだけで縦波音速測定が可能となるという特徴がある．本稿では，液滴の縦波音速計測について検討した結果を報告する．