反射型弾性表面波素子を用いた計測法の検討

摘要

圧電結晶上を伝搬する弾性表面波（SAW）の励振はワイヤレスでも利用可能である．すなわち，すだれ状電極（IDT）にアンテナを接続し，所望の周波数を持つ信号を無線で伝送してもSAW を励振することができる．この特徴を利用したのがワイヤレスSAW センサである．ワイヤレスSAW センサは，主にIDT と反射器で構成されている．また，その利用方法として，SAW の摂動を利用する場合と反射器に接続されたインピーダンスの変化による反射特性変化を利用する場合の2 通りがある．本稿では，反射型SAW 素子を用いた2 種類のセンサについて検討した．SAW 素子の特性のみを評価するため，有線にて実験を行った．具体的には，IDT と反射器間に液体を負荷した液相系センサ，および反射器に接続されたインピーダンス変化による反射特性変化を検出するインピーダンス負荷SAW センサについて実験を行い，センサ応答について評価した．%A surface acoustic wave (SAW) device can be used as a wireless sensor, when an antenna is connected to an interdigital transducer (IDT). Usually, the wireless SAW sensor consists of an interdigital transducer (IDT) and reflector. Two types of wireless SAW sensors have been proposed. One is based on the perturbation of the SAW. The other is based on the reflectance coefficient change due to a loaded-impedance. In this paper, we preset two types of the reflected SAW sensors. One is a liquid-phase SAW sensor and the other is an impedance-loaded SAW sensor. At the measurements, the IDT and a network analyzer was connected with a wire to discuss the SAW property changes.