用表面声波装置测量气体流速

摘要

＜正＞ 1.概述最近几年,在物理、化学传感器中,广泛采用表面声波（SAW）技术的趋势不断增加。虽然,表面声波传感器要比场效应晶体管传感器、光学传感器以及电阻/电容调制型传感器出现得晚,但是当真正了解了表面声波传感器