高電位部への電力供給に適した非接触給電技術の開発

摘要

電子線照射装置やイオン注入装置などでは、加速電圧に充電された高電位部へ、電子やイオンを生成するための電力を供給する必要がある。このような用途に、近年電気自動車などの充電技術として注目されている非接触給電技術が適用できないか検討を行った。通常、高電位部は電界緩和のため静電シールドで覆われており、非接触給電を適用する場合も受電コイルをシールド内に配置することになるため、給電を阻害しにくいシールド形状を検討する必要がある。本稿では、はじめに送受電コイル単体の場合のギャップ300mmでの給電特性を示し、続いて、模擬的な静電シールド内に受電コイルを配置し、シールド形状を工夫した場合の実験·検証結果を示す。