2011年の技術と成果：（8）イオン注入装置·イオンドーピング装置

摘要

イオンドーピング装置においては、すでに市場に投入した5.5世代ガラス基板用装置“iG5”に対する多くの受注に対応するため、当社滋賀工場の製造ライン増設を行った。また、5.5世代よりも一回り大きな6世代ガラス基板対応装置“iG6”を開発し顧客への納入を果たした。今後も、より高機能·多機能および高生産性の実現という課題に対する技術的解決策を確立し、適時顧客への提供が可能となる様、技術開発を継続していく。