水素フリー·ナノフラットDLC薄膜のレンズ金型への応用

摘要

フィルタードアーク(FVA)法を用い、超硬基板上に成膜したDLC膜とプラズマCVDおよび真空アーク法を用いた膜との耐熱性と平滑性を評価した結果、FVA法を用いて形成したDLC膜が、最もガラスレンズ金型用途に適していることを確認した。