実環境下でのプロセス·特性評価のための収差補正·環境制御型透過電子顕微鏡とその応用

摘要

高分解能·高圧力タイプの環境セルと対物レンズの収差補正を組み合わせて，気体中の固体の振る舞いを原子スケールで観察できる収差補正?環境制御型透過電子顕微鏡（ETEM）を紹介する．本ETEMは従来よりも高圧力で高分解能観察が可能である．さらに，各種気体の切り替えを高速化させて，再現性のある安定した気体雰囲気下で試料を観察できる．本ETEMは，気体中で機能中の金属ナノ粒子触媒の観察に代表される1）原子スケールでの機能の評価，およびカーボンナノチューブの気相成長などに代表される　2）物質合成プロセスの評価，などの「実環境下でのプロセス?特性評価への応用」が期待されている．また，本ETEMではETEM観察と通常の透過電子顕微鏡（TEM）／走査透過電子顕微鏡（STEM）観察の切り替えが容易であり，ETEM観察の前後で対物レンズの球面収差が補正された高性能分析STEM汀EMとしての利用も可能である．