像差校正器以及电子显微镜

摘要

为了提供像差校正范围宽且容易控制并能够实现高精度的像差校正并且低成本的像差校正器，在使电子射线经过中心轴(201)的像差校正器中，具备：第一电流线群(101‑112)，在从中心轴起相隔R1的位置处与光轴平行地配置，激励第一多极场；以及第二电流线群(21‑32)，在从中心轴起相隔R2的位置处与光轴平行地配置，独立地激励阶数及强度与所述第一多极场不同的第二多极场。