大気圧パルス放電により発生する原子酸素ラジカルのレーザ誘起蛍光法による挙動観測－酸素濃度依存性

摘要

様々な非熱平衡プラズマを用いたプロセスが長年にわたり研究されてきている。 オゾナイザーや大気中の汚染物質除去、プラズマCVD、材料改質、プラズマ洗浄など挙げていけば際限がない。 しかし非熱平衡プラズマは利用自体は盛hであれ、プラズマによる反応機構は依然として未解明である。 これは非熱平衡プラズマ自体の反応が非常に短時間の間に起こるためである。 非熱平衡プラズマの反応機構が解明されることで、既存の技術のさらなる高効率化が望めることは言うまでも無い。 酸素原子であるOラジカルO(3{sup left}P)は、このプラズマ反応過程で大きな役割を果たしている可能性があることが、これまでの実験やシミュレーションで指摘されている。 本研究では高濃度酸素中パルス放電で発生するOラジカルをLIF 法を用いて測定し、酸素濃度のOラジカルへと与える影響について検討した。