アルミ談話室塩素あつての表面処理アルミと塩素の腐れ緑

摘要

入社を機にアルミと関わり始め、22年の腐れ縁。これまでの半生から、印象深い事例を御紹介したいと思います。弊社はアルマイトの専業者です。半導体製造装置、特にDRYETCHERの部品をお預かりすることが多いのですが、初見は装置に塩素ガスを導入する流路部品のトラブルでした。流路は孔食したアルミが剥き出しになり、アルマイトが剥がれ落ちていました。