特集にあたって

摘要

LSIの発展は空気清浄化技術と共に進hできました。 近年、クリーンルーム中に浮遊する分子レベルの汚染がLSIの品質に影響することが良く知られています。 公表された多くの問題は氷山の一角であり水面下ではより多くの問題を有しています。 特集を企画するに当たって半導体量産工場におけるLSIと空気清浄化に焦点を当て、JACAの構成メンバーと読者を意識して全体像と実体を知って頂く事に努力しました。