ナノ周期積層構造を有する超硬質膜と固体潤滑膜

摘要

先端産業分野の各種機械，装置などの高性能化，小型化に伴い極表面層の機械的特性の重要性が増大している。 例えば，磁気ディスクのヘッド·媒体インタフェース，各種マイクロマシンなどでは，マイクロトライボロジーと呼ばれる極表面の機械的特性が機能，信頼性に影響を与え重要になっている。