ダイヤモンド製エンドエフェクタを有するマイクロマニピュレータ

摘要

μm単位の物体の把持·操作を目標にダイヤモンド製エンドエフェクタを有するSMA駆動マイクロマニピュレータの開発を行っている。 図1にマイクロマニピュレータ装置の概要を示す。 本研究では吸着や吸引によるマニピュレーションではなく，機械的な構造をもった把持部，つまり，数本の微小な指をもち把持対象を確実にはさみ込hでもつことができるエンドエフェクタ機構をダイヤモンドを用いて製作している。 また，エンドエフェクタのアクチュエータとしてSMAアクチュエータを採用している。SMAは静電アクチュエータや圧電アクチュエータに比べ，駆動量が大きくとれるため把持領域が大きくとれ，しかも収縮弛緩動作を行うため，柔軟な動きが可能で力覚制御が行いやすいなど，マイクロマニピュレータのエンドエフェクタ用アクチュエータとして優れた特徴を有している。以上，小型のSMAによって駆動されるダイヤモンド製のエンドエフェクタを製作し，マイクロマニピュレーションシステムに組み込hでその性能試験を行うことで検討を行った。