ИСТОЧНИКИ ИОНОВ НА ОСНОВЕ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ИОННЫХ ЖИДКОСТЕЙ ДЛЯ АЭРОКОСМИЧЕСКОГО ПРИМЕНЕНИЯ, НАНОТЕХНОЛОГИИ И МИКРОЗОНДОВОГО АНАЛИЗА (обзор)

摘要

Дан аналитический обзор этапов развития и современного состояния разработок ионных источников с низкотемпературными ионными жидкостями для аэрокосмических и ионно-лучевых технологий. Обсуждаются свойства ионных жидкостей - новых ионно-проводящих материалов ("жидкая плазма или плазма в бутылке"). Подробно описываются режимы работы, конструкция и технология изготовления точечных, капиллярных, матричных и линейных источников ионов с ионными жидкостями. Проанализированы основные области их применения включая электростатические ракетные двигатели (микротрастеры) для спутников в формате CubeSat, системы с остросфокусированными ионными пучками для технологической обработки материалов и структур в нанометровом диапазоне и для микрозондовых исследований.