УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ СЛОЕВ КРЕМНИЯ ИЗ СУБЛИМАЦИОННОГО ИСТОЧНИКА НА ПОДЛОЖКАХ СТАНДАРТНОЙ ФОРМЫ

摘要

Описано устройство для осаждения из сублимационного источника слоев кремния на подложках стандартной формы - дисках диаметром 52 - 100 мм. Источник кремния - монокристалл, нагретый до температуры 1300 - 1380°C, - совершает качание относительно подложки, что позволяет получать слои равномерной толщины и однородно легированные по площади подложки.