フルードパワー（水圧）と位置センサ: 悪環境に使用される位置センサと、水圧位置制御

摘要

油圧を使った位置制御システムで、位置センザは油圧ポンプの傾転角、流量·方向切換弁または比例弁のスプール変位、油空圧シリンダのロッド位置検出等に使われる。油圧機器は建設機械、製鉄機械·タイヤ機械のように環境が悪い場所で使われる場合が多く、振動·衝撃、高·低温、水·油、電気ノイズ等に対応するため、さまざまな位置センサが提供されてきた。逆に半導体·電子機器、食品·薬品製造機械のように、清浄度が必要な用途では電動機、空圧·水圧機器等が用いられている。今回新たに両方向回転が可能で、小形の水圧サーボポンプと、これに電動モータ、アブソリュート位置センサを組み合わせた水圧位置制御ユニット（Aqua Drive System）を開発したので、合わせて紹介する。