空気静圧ガイドを用いた位置決め機構の設計ポイント

摘要

このような静圧型の軸受としては，油や水を潤滑流体として使用した油（水）静圧軸受があるが，油と比較して，空気はクリーンであり，多くの場合において潤滑流体を回収する必要がない。また，粘度が油の約1／1，000の空気を潤滑流体として使用することから，極めて摩擦係数が低く，数m／s以下の案内面の送り速度では，摩擦力はほぼゼロと考えてよい。ただ，その反面，油や水静圧軸受と比較して，供給空気の最大圧力が1MPa程度にとどまることから，軸受負荷容量や剛性が劣り，また，空気の減衰性が，油や水と比較して1／100程度という欠点がある。そのため，空気静圧軸受は，その利点を生かせる高速回転スピンドルや軽負荷で高速の案内両用軸受としての適正が高いと言える。本稿では，この空気静圧ガイドを用いた位置決め機構に関する設計ポイントに関して，特に軸受特性の観点から解説する。