精密位置決めのための除振装置の低コスト化設計

摘要

供給メーカーが数社に限られ，市場規模も限られ，そして競合相手の顔が明々白々であると，かえって敵対的になる。もはやコストを無視した技術者天国の開発は許されない。本稿では，露光装置における精密位置決めにおいて，縁の下の力持ちである除振装置のコストダウンに関する話題を紹介する。