フォースモジュレーション法による磁気ディスク表面の動的変形特性評価

摘要

磁気ディスクの潤滑油とDLC保護膜複合系の動的変形特性をフォースモジュレーション法により評価した。PFPE を塗布した磁気ディスク,さらに熱硬化処理を行ったディスクの表面についてTan δなどの粘弾性特性を原子間力顕微鏡により評価をした。Valley部TanδはHill部に比べて大きくなっていた。 潤滑油の存在量と対応していると考えられる。マイクロ摩耗試験では摩耗深さはPFPEを塗布することにより減少している。 PFPEを塗布したディスクのHill 部におけるTanδは高荷重でマイクロ摩耗試験を行うと摩耗試験前と比べ増大する。 一方,Valley部では高荷重でマイクロ摩耗試験を行うとTan δが減少する。 これらは高荷重のマイクロ摩耗試験によって潤滑油がValley部からHill 部に移動したと考えられる。また,熱キュア処理を行った場合,高荷重で摩耗することでTan δが減少する。 これは熱キュア処理をすることで潤滑油が減少したと考えられる。