ナノフォームの音響特性と応用デバイス－高感度空中超音波センサ

摘要

空中超音波センサの高感度化を目的として、音響整合層にナノフォームを適用する検討を行った。 ナノフォームはゾルーゲル反応により形成される多孔質体であり、低音響インピーダンスを有するため、空中超音波センサの音響整合層として有効である。本研究ではシリカ骨格を有するナノフォームと、セラミック多孔体との2層構成とした音響整合層を持つ超音波センサを作製し、その音響特性を評価した。作製した超音波センサは一般的な音響整合層を用いた空中超音波センサの約20倍程度の感度が得られた。