高温劣化診断機能を有するSi_3N_4系セラミックスの開発

摘要

サブミクロン粉末の使用と常圧焼結を作製条件として，窒化ケイ素に，炭化ケイ素を7:3（窒化ケイ素：炭化ケイ素）以上の重量比で混合することで，本来絶縁体である窒化ケイ素に，電気導伝性を付与することができた。また，この方法によって作製した窒化ケイ素複合体の強度は，室温では窒化ケイ素単体とほとhど同じであるが500°C以上では単体を上回ることがわかった。 そして，この窒化ケイ素複合体は導電率の変化により高温劣化を診断できることが確認できた。