IDタグの機能を有する無給電表面波センサ－反射型遅延線によるIDタグの構成

摘要

弾性表面波の基板端面における反射を利用した反射型遅延線によるRFIDタグの構成とそれを利用した歪のリモートセンシングについて述べる。 SH-SAW (Shear horizontal type surface acoustic Wave)は、表面に水平な粒子変位成分のみを有し、直角のエッジに入射すると完全反射する。本報告では、直角エッジを有する36°YX LiTaO{sub}3基板を使い、反射型SAW遅延線によるIDタグの構成について示し、その基本的な動件を明ちかにした。次に、このID機能付きのセンサを液体のワイヤレス測定に利用した例を示す。