シリコーン系有機·無機複合膜の絶縁破壊の観察

摘要

本研究では、アルコキシラン末端PDMSとチタンアルコキシドを原料とする複合膜の絶縁劣化過程の把握を目的として、電気トリー劣化の観察を行った。微小トリーを観察するため、強制的に2次元成長させるべく試料を作製し、交流トリーの進展について調べた。チタンアルコキシド／PDMSのモル比を変えた場合の構造変化に伴い絶縁劣化過程の違いが確認できたので報告する。