微小電子源を用いた真空集積回路創成のための技術的課題

摘要

近年，半導体電界効果トランジスタのチャネル部分を真空にしたデバイスへの関心が高まっている．真空ナノエレクトロニクスの分野では，60年前にShouldersが真空集積回路の概念を提案したにもかかわらず，せいぜい四極管や差動増幅器程度のデバイスの試作が行われたにとどまっている．今後，真空集積回路に対する期待は高まるものと考えられるが，そのためにはいくつかの技術的課題を克服する必要がある．本稿では，これまでに開発された真空ナノエレクトロニクスデバイスを概観し，集積化を行うために必要な技術的課題を抽出する．