転写モールド法微小突起型陰極アレイの誘電体膜厚による誘電体バリア放電特性

摘要

水銀フリー紫外線源として期待されている高気圧プラズマによる紫外線源の研究が、誘電体バリア放電を用いて行われている。従来の誘電体バリア放電は電極構造が平行平板型や同軸円筒型等で放電面が平面型であり、局所的な異常放電が発生しやすい。そのため、電極間距離を数mmまで長くしており、高気圧下では数kV程度の高電圧が必要となる。本研究では、エミッタ先端の先鋭性、エミッタ形状の均一性、エミッタ材料の選択性に優れるという特長を持つ独自の転写モールドエミッタ作製方法を利用して突起型陰極アレイを作製し、陰極上に局所的な電界集中を発生させ、高気圧下において低放電電圧及び、高効率プラズマ源の開発を目指す。第一段階として、微小突起型陰極アレイ上の誘電体膜厚さによる誘電体バリア放電特性の評価を行った。