超音波マイクロスペクトロスコピー技術によるZnO単結晶の音響関連物理定数の決定

摘要

水熱合成法により育成された、低抵抗および高抵抗の（001）、（100）、（101）ZnO試料を用いて、超音波マイクロスペクトロスコピー（UMS）技術によりZnOに対する精密な音響関連物理定数を求めた。適切な試料あるいはバルク波音速測定に適した測定位置を確定するために、水を負荷した試料表面を伝搬する漏洩弾性表面波（LSAW）の速度を用いた評価を通して、多くの小さなZnO結晶の中から試料を選択した。以前に開発した決定手順にしたがって、バルク波音速の測定値を用いて定数を決定した。その精度は、LSAW速度の測定値と決定した定数を用いた計算値との比較によって見積り、その結果は3.1m/s以内であった。本研究を通してZnO結晶に対してどのようにUMS技術を適用するかの実験的な手順を確立した。