СПОСОБЫ УСТРАНЕНИЯ ВЛИЯНИЯ ФЛУКТУАЦИИ ЛАЗЕРНЫХ ЛУЧЕЙ НА ТОЧНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРНЫХ ПАРАМЕТРОВ

摘要

Точность изготовления деталей напрямую зависит от точности измерения. К числу наиболее эффективных и широко распространенных методов измерений размерных параметров деталей относятся оптические методы, и, в частности, методы, основанные на измерении рассогласования прямого и отраженного от объекта лазерных лучей. На точность лазерных измерительных систем (ЛИС) значительное влияние оказывает флуктуация (нестабильность) интенсивности лазерного излучения.