超精密旋盤の開発とガラスの延性モード切削への応用

摘要

ガラスの延性モード加工は，工具と工作物の干渉量（切込み深さ）がdcを上回ると実現できませh．そのため，旋削加工などでガラスを延性モードで加工するためには，位置決め分解能，回転軸振れ，運動精度のそれぞれの値がdc以下の性能を有し，加工力による変形量が送り分解能未満の工作物·工具の支持剛性を備えた加工装置が必要となります．そのため，加工装置には非常に高い能力が要求されます．